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公司信息商标信息专利信息
授权公布号:CN115074678B
不锈钢薄板连续镀膜用的多弧靶机构及PVD镀膜装置
有效
申请
2022-06-20
申请公布
2022-09-20
授权
2023-05-16
预估到期
2042-06-20
申请号 CN202210695352.8
申请日 2022-06-20
申请公布号 CN115074678A
申请公布日 2022-09-20
授权公布号 CN115074678B
授权公告日 2023-05-16
分类号 C23C14/32;C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 肇庆市科润真空设备有限公司
申请人地址 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面)

专利法律状态

2023-05-16 授权
状态信息
授权
2022-09-20 公布
状态信息
公布

摘要

本发明公开一种不锈钢薄板连续镀膜用的多弧靶机构及PVD镀膜装置,多弧靶机构为磁场旋转式的多弧靶机构,包括弧靶座、靶材、旋转式磁场组件和引弧组件,弧靶座一侧具有环形凹槽,弧靶座的另一侧为平面侧,靶材安装于弧靶座的平面侧,旋转磁场组件安装于环形凹槽的一侧,靶材的外侧安装有引弧组件;PVD镀膜装置为真空镀膜室内设有上述多弧靶机构的镀膜生产线。本发明可适应不锈钢薄板的长时间连续镀膜生产,提高镀膜效率,并提高不锈钢薄板的表面镀膜质量。