授权公布号:CN115074678B
不锈钢薄板连续镀膜用的多弧靶机构及PVD镀膜装置
有效
申请
2022-06-20
申请公布
2022-09-20
授权
2023-05-16
预估到期
2042-06-20
| 申请号 | CN202210695352.8 |
| 申请日 | 2022-06-20 |
| 申请公布号 | CN115074678A |
| 申请公布日 | 2022-09-20 |
| 授权公布号 | CN115074678B |
| 授权公告日 | 2023-05-16 |
| 分类号 | C23C14/32;C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 申请人地址 | 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面) |
专利法律状态
2023-05-16
授权
状态信息
授权
2022-09-20
公布
状态信息
公布
摘要
本发明公开一种不锈钢薄板连续镀膜用的多弧靶机构及PVD镀膜装置,多弧靶机构为磁场旋转式的多弧靶机构,包括弧靶座、靶材、旋转式磁场组件和引弧组件,弧靶座一侧具有环形凹槽,弧靶座的另一侧为平面侧,靶材安装于弧靶座的平面侧,旋转磁场组件安装于环形凹槽的一侧,靶材的外侧安装有引弧组件;PVD镀膜装置为真空镀膜室内设有上述多弧靶机构的镀膜生产线。本发明可适应不锈钢薄板的长时间连续镀膜生产,提高镀膜效率,并提高不锈钢薄板的表面镀膜质量。


