本发明公开一种超薄薄膜镀膜用的蒸发源机构及镀膜设备和镀膜方法，蒸发源机构包括坩埚、陶瓷组件、感应线圈、冷却铜块和金属丝送丝组件，坩埚设有一端开口的熔池，开口处设有冷却铜块，冷却铜块设有通孔，坩埚外周设有陶瓷组件，陶瓷组件外周设有感应线圈，感应线圈和冷却铜块连接并组成加热组件；镀膜设备中设有上述蒸发源机构，其镀膜方法是基材进行至少一次“第一面磁控溅射镀膜‑第一面蒸发镀膜‑第二面磁控溅射镀膜‑第二面蒸发镀膜”的双面交替镀膜和冷却；第一面磁控溅射镀膜和第一面蒸发镀膜在第一镀膜辊外侧完成，第二面磁控溅射镀膜和第二面蒸发镀膜在第二镀膜辊外侧完成。本发明可避免超薄薄膜因表面热量过高而产生褶皱变形等现象。