授权公布号:CN105908146B
旋转式磁控靶及卧式磁控溅射镀膜设备
有效
申请
2016-06-30
申请公布
2016-08-31
授权
2018-08-24
预估到期
2036-06-30
| 申请号 | CN201610514130.6 |
| 申请日 | 2016-06-30 |
| 申请公布号 | CN105908146A |
| 申请公布日 | 2016-08-31 |
| 授权公布号 | CN105908146B |
| 授权公告日 | 2018-08-24 |
| 分类号 | C23C14/35 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 申请人地址 | 广东省肇庆市端州大道 |
专利法律状态
2018-08-24
授权
状态信息
授权
2016-09-28
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20160630
2016-08-31
公布
状态信息
公开
摘要
本发明公开一种旋转式磁控靶及卧式磁控溅射镀膜设备,旋转式磁控靶包括靶材、磁芯和磁铁,磁芯设于靶材中部,磁芯外周设有至少一个磁铁,磁铁朝向靶材的一端呈锥形。卧式磁控溅射镀膜设备包括依次连接的前预抽室、前粗抽室、前精抽室、前缓冲室、镀膜室、后缓冲室、后精抽室、后粗抽室和后预抽室,镀膜室为一个或多个,各镀膜室中设有旋转式磁控靶,旋转式磁控靶位于工件上方。本旋转式磁控靶通过将磁铁末端设计为尖端,增强了磁力线在靶材表面的分布密度,可加大溅射出来的靶材粒子数量,从而提高了工件表面的镀膜效率。将其应用于卧式磁控溅射镀膜设备中,可有效提高工件的镀膜效率,缩短整个工艺线的生产周期,从而提高生产效率。


