授权公布号:CN111424247B
一种旋转式长寿命多弧靶及其使用方法
有效
申请
2020-05-12
申请公布
2020-07-17
授权
2022-05-10
预估到期
2040-05-12
| 申请号 | CN202010395629.6 |
| 申请日 | 2020-05-12 |
| 申请公布号 | CN111424247A |
| 申请公布日 | 2020-07-17 |
| 授权公布号 | CN111424247B |
| 授权公告日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | C23C14/35 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 申请人地址 | 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面) |
专利法律状态
2022-05-10
授权
状态信息
授权
2020-07-17
公布
状态信息
公布
摘要
本发明公开一种旋转式长寿命多弧靶及其使用方法,包括引弧装置、阳极装置和旋转式电弧靶材装置;旋转式电弧靶材装置包括环形弧靶材和靶材旋转驱动机构,环形弧靶材设于靶材旋转驱动机构的输出端,引弧装置和阳极装置分别设于环形弧靶材相对的两面外侧。其使用方法是通过靶材旋转驱动机构驱动环形弧靶材进行连续不断的旋转运动,在旋转运动过程中位于引弧装置和阳极装置之间的区域为溅射区域,利用固定不动的引弧装置和阳极装置激发溅射区域内的环形弧靶材表面溅射出所需镀膜材料,对经过溅射区域的工件或基材进行连续镀膜。本发明可有效延长靶材的连续使用寿命,可较好地应用于连续镀膜、长时间工作的生产线上,同时改善镀膜效果。


