授权公布号:CN209798096U
一种离子增强型的卷绕式磁控光学镀膜装置
有效
申请
2019-04-12
申请公布
1970-01-01
授权
2019-12-17
预估到期
2029-04-12
| 申请号 | CN201920503557.5 |
| 申请日 | 2019-04-12 |
| 授权公布号 | CN209798096U |
| 授权公告日 | 2019-12-17 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/56 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 申请人地址 | 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面) |
专利法律状态
2019-12-17
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开一种离子增强型的卷绕式磁控光学镀膜装置,包括旋转辊、镀膜室和氧化室,沿基材的输送方向,旋转辊的外侧依次设有镀膜室和氧化室,旋转辊内侧与氧化室的相对之处设有磁铁组件,磁铁组件中,任意相邻的两个磁铁之间,朝向氧化室的端部极性相反;氧化室内设有进气管,进气管与旋转辊之间连接有电池。本实用新型是在基材镀完氧化硅后,通过增加氧离子密度来加强膜层的氧化效果,从而提高膜层中氧化硅的纯度和膜层透明度,进而提高膜层的光学性能。


