授权公布号:CN212610873U
一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶
有效
申请
2020-05-12
申请公布
1970-01-01
授权
2021-02-26
预估到期
2030-05-12
| 申请号 | CN202020783003.8 |
| 申请日 | 2020-05-12 |
| 授权公布号 | CN212610873U |
| 授权公告日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | C23C14/32;C23C14/35 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
| 申请人地址 | 广东省肇庆市端州一路南侧(市财贸学校对面) |
专利法律状态
2021-02-26
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开一种适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶,包括引弧装置、阳极装置和旋转式电弧靶材装置;旋转式电弧靶材装置包括环形弧靶材和靶材旋转驱动机构,环形弧靶材设于靶材旋转驱动机构的输出端,引弧装置和阳极装置分别设于环形弧靶材相对的两面外侧。本适用于连续镀膜生产的长寿命多弧靶由于采用了旋转式的电弧靶材装置可有效延长靶材的连续使用寿命,可较好地应用于连续镀膜、长时间工作的生产线上,同时,由于环形弧靶材在镀膜过程中是处于不断旋转的状态,因此溅射弧光不会固守在同一靶材的同一固定范围内,在旋转过程中对环形弧靶材进行不断冷却,可达到较好的冷却效果,较大程度减少多弧液粒的产生,从而改善镀膜效果。


