本发明涉及故障诊断技术领域，具体公开一种行星齿轮箱故障诊断分析方法，包括行星齿轮箱制造图片采集、行星齿轮箱内各齿轮的尺寸参数分析、行星齿轮箱内各齿轮的外观缺口数量分析、行星齿轮箱内各齿轮的齿形误差分析、行星齿轮箱制造误差分析、行星齿轮箱安装图片采集、行星齿轮箱内各齿轮的布设位置分析、行星齿轮箱内各齿轮的贴合误差分析、行星齿轮箱安装误差分析和行星齿轮箱故障程度判断，本发明保证了行星齿轮箱制造误差分析结果的精确性，从而为行星齿轮箱故障程度判断提供可靠的数据支持，本发明对行星齿轮箱内各齿轮对应布设位置误差系数和贴合误差系数进行分析，有利于保障行星齿轮箱的使用。