本实用新型公开了薄膜测厚仪的提升机构，包括：支撑架；凸轮机构，其安装在所述支撑架一侧；抬升杆，其转动设置在所述支撑架另一侧，所述抬升杆一端与所述凸轮机构的凸轮相抵接，所述抬升杆另一端与薄膜测厚仪的测头相抵接；及弹性支撑组件，用于支撑所述抬升杆以使所述抬升杆与所述凸轮相抵接。本实用新型提供的薄膜测厚仪的提升机构，用于调节薄膜测厚仪的测头的高度，提高测试精度和效率。