本实用新型公开了一种薄膜测厚仪及其提升机构，提升机构包括基体，其安装在膜厚仪上；旋转轴转动配合在基体上；连接机构套装在旋转轴上并与基体固定连接；手柄机构固定在旋转轴上；偏压件套设于连接机构与手柄机构之间；凸轮件固定在旋转轴上；杠杆机构包括提升杆支架和与凸轮件的曲面接触的侧头；手柄机构具有初始位置，在初始位置时侧头处于测量位置，偏压件对手柄机构施加使其处于初始位置的偏压力，曲面包括沿测量旋转方向的第一曲面和第二曲面，第一曲面的曲率大于第二曲面的曲率且两者的相接位置处的曲率最大，测量位置为曲率最大位置。测量时，测头对薄膜的冲击较小，提高测量精度；且薄膜在测量前的装夹或测量完成后的拆卸的操作空间大。