光刻机外围设备集成监测系统及监测方法

授权公布号：CN113406864B

光刻机外围设备集成监测系统及监测方法

有效

申请

2021-05-24

申请公布

2021-09-17

授权

2022-10-28

预估到期

2041-05-24

申请号	CN202110566978.4
申请日	2021-05-24
申请公布号	CN113406864A
申请公布日	2021-09-17
授权公布号	CN113406864B
授权公告日	2022-10-28
分类号	G03F7/20;G01D21/02
分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
申请人名称	上海顺灏新材料科技股份有限公司
申请人地址	上海市普陀区真陈路200号

专利法律状态

2022-10-28 授权

状态信息

授权

2021-09-17 公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种光刻机外围设备集成监测系统，包括：监控PLC、网络连接装置、车间空调系统、空压机、UPS、通讯模块、触摸屏和远程终端，所述监控PLC采集所述车间空调系统、空压机和UPS的运行参数，监测运行状态；所述监控PLC、所述通讯模块和所述触摸屏通过所述网络连接装置进行通信；所述远程终端通过互联网与所述通讯模块进行通信。本发明对各个设备运行状态采集和监控，并实时显示。本发明还公开了光刻机外围设备集成监测系统的监测方法。