本实用新型公开了一种制氧用微型活塞式无油压缩机，包括电机、安装底座、主体、顶端盖板、三组压缩组件；所述电机设置电机输出轴；所述顶端盖板与主体的上端连接，主体的下端设置在安装底座上，安装底座设置在电机上；三组压缩组件的结构相同；所述压缩组件包括缸体，缸体一端与主体密封连接，缸体另一端通过密封板与外盖密封连接；压缩组件内设置连杆总成；三组压缩组件内对应设置第一缸体、第二缸体、第三缸体；所述第二缸体的工作容积是第一缸体、第三缸体的工作容积之和。本实用新型减少了轴跨度，提高了设备的稳定性；同时采用直接进气、排气的模式，减小了进气、排气的回路长度，提高了响应速度；减小了运转振幅，使设备运行更加平稳。