一种复合涂层薄膜及其制备方法和应用

授权公布号：CN113564526B

一种复合涂层薄膜及其制备方法和应用

有效

申请

2021-07-27

申请公布

2021-10-29

授权

2023-05-26

预估到期

2041-07-27

申请号	CN202110849992.5
申请日	2021-07-27
申请公布号	CN113564526A
申请公布日	2021-10-29
授权公布号	CN113564526B
授权公告日	2023-05-26
分类号	C23C14/06;C23C14/35
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	上海工具厂有限公司
申请人地址	上海市杨浦区军工路1060号

专利法律状态

2023-05-26 授权

状态信息

授权

2021-10-29 公布

状态信息

公布

摘要

本发明属于材料涂层技术领域，具体涉及一种复合涂层薄膜及其制备方法和应用。本发明提供的复合涂层薄膜，包括交替层叠的ZrN模板层和TiAlSiN调制层，直接与基体表面接触的为ZrN模板层；所述TiAlSiN调制层包括TiAlN相和Si3N4相。本发明在TiAlSiN调制层中掺杂Si元素，使调制层产生同时具有TiAlN和Si3N4多相态。调制层的多相化增加了涂层中各相之间的弹性模量差，也增强了各层之间的交变应力场。本发明提供的复合涂层薄膜中多个相邻的ZrN层和TiAlSiN层之间呈共格外延生长，该结构阻碍了纳米晶粒沿晶界的滑移，使复合涂层进一步强化。