Ti－Al－O－N硬质复合涂层及其制备方法

授权公布号：CN1277949C

有效

申请

2004-08-05

申请公布

2005-03-02

授权

2006-10-04

预估到期

2024-08-05

申请号	CN200410053491.2
申请日	2004-08-05
申请公布号	CN1587435A
申请公布日	2005-03-02
授权公布号	CN1277949C
授权公告日	2006-10-04
分类号	C23C14/06;C23C14/34
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	上海工具厂有限公司
申请人地址	上海市军工路1060号

专利法律状态

2006-10-04 授权

状态信息

授权

2005-05-04 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效

2005-03-02 公布

状态信息

公布

摘要

一种Ti-Al-O-N硬质复合涂层及其制备方法，用于陶瓷涂层领域。涂层成分范围为18～36at％Ti，17～32at％Al，4～24at％O，27～41at％N，涂层以晶体态存在。在金属或陶瓷材料的基体上采用Ti-Al合金靶或Ti-Al复合靶材并与Ar、N<SUB>2</SUB>和O<SUB>2</SUB>的混合气体进行反应溅射制取。本发明在传统的Ti-Al-N体系涂层基础上加入了O元素，使该种涂层不但具有优良的高温抗氧化性，而且具有高的硬度；其硬度高于32GPa。本发明作为高速切削刀具、干式切削刀具及其在高温条件下服役零件的耐磨工作涂层具有很高的应用价值。