授权公布号：CN111304618B
一种纳米复合涂层及其制备方法
有效
申请
2020-04-14
申请公布
2020-06-19
授权
2021-12-21
预估到期
2040-04-14
| 申请号 | CN202010288838.0 |
| 申请日 | 2020-04-14 |
| 申请公布号 | CN111304618A |
| 申请公布日 | 2020-06-19 |
| 授权公布号 | CN111304618B |
| 授权公告日 | 2021-12-21 |
| 分类号 | C23C14/35;C23C14/06 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 上海工具厂有限公司 |
| 申请人地址 | 上海市杨浦区军工路1060号 |
专利法律状态
2021-12-21
授权
状态信息
授权
2020-07-14
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效；IPC(主分类):C23C14/35；申请日:20200414
2020-06-19
公布
状态信息
公布
摘要
本发明涉及纳米复合涂层技术领域，提供了一种（AlCrTiZrMo）‑Six‑N纳米复合涂层及其制备方法。本发明提供的（AlCrTiZrMo）‑Six‑N纳米复合涂层包括（AlCrTiZrMo）N基体相和Si3N4界面相；所述Si3N4界面相将（AlCrTiZrMo）N基体相分成了若干个基体相单元，每个基体相单元外侧被Si3N4界面相环绕包围。本发明通过Si掺杂使得涂层形成界面相Si3N4包裹纳米晶（AlCrTiZrMo）N的纳米复合结构，界面相阻碍了（AlCrTiZrMo）N纳米晶粒沿晶界的滑移，抑制了纳米复合膜的微观变形，以达到全面提高硬度和弹性模量的效果。
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