授权公布号:CN117425115B
一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用
有效
申请
2023-12-19
申请公布
2024-01-19
授权
2024-02-27
预估到期
2043-12-19
| 申请号 | CN202311744856.5 |
| 申请日 | 2023-12-19 |
| 申请公布号 | CN117425115A |
| 申请公布日 | 2024-01-19 |
| 授权公布号 | CN117425115B |
| 授权公告日 | 2024-02-27 |
| 分类号 | H04R9/06;C23C16/27;C23C16/02;C23C16/56;H04R9/02;H04R31/00 |
| 分类 | 电通信技术; |
| 申请人名称 | 北京沃尔德金刚石工具股份有限公司 |
| 申请人地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路东路1号院7号厂房7-12东五层H-03室 |
专利法律状态
2024-02-27
授权
状态信息
授权
2024-02-06
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H04R9/06;申请日:20231219
2024-01-19
公布
状态信息
公布
摘要
本申请涉及声学膜材料技术领域,具体公开了一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用。本申请提供的多层金刚石振膜层级结构如A(BC)n所示;A为基底层,晶体粒度为0.5μm‑2μm;B为生长层,晶体粒度为5μm‑20μm;C为填充层,晶体粒度为5nm‑50nm;所述n为1‑5;所述多层金刚石振膜的表面粗糙度为0.5μm‑1μm;所述金刚石振膜在100‑1000hz频段下的声压级≥105dB,在1000‑10000hz频段下的声压级≥95dB;本申请还提供了上述多层金刚石振膜的制备方法。本申请提供的多层金刚石振膜厚度均匀、表面粗糙度低、谐振与气动阻尼小,因此具备优异的声音传播速度与传播质量。


