本实用新型公开了一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板、下夹板、螺丝螺杆以及位于上夹板与下夹板之间的垫片，所述上夹板、下夹板上设有与螺丝螺杆相配合的通孔，上夹板、下夹板通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆上，螺丝螺杆上端穿过上夹板并向外延伸，延伸部分与上夹板之间设有螺母；下端固定在下夹板的通孔内；在上夹板与下夹板上各设有一组对称的矩形长条，所述的上夹板上的矩形长条与下夹板上的矩形长条相互对立。本实用新型可以用更小的力使硅片叠加的更紧密减小内部的刻蚀，同时压片在硅片其他位置不施加力，不会使硅片产生隐裂，既改善了刻蚀效果同时避免了整体压力过大造成硅片损伤。