一种基于机器人的光刻装置和光刻方法，该光刻装置包括机器人、光源和工作台，机器人具有至少两个方向的自由度，且机器人与工作台相对；光源和待曝光工件的其中一者设置于机器人，另一者设置于工作台；机器人用于根据待曝光工件的形状在至少一个方向上运动，以使光源对待曝光工件进行多个区域的曝光。在光刻时，机器人可以带动光源和待曝光工件中的一者相对另一者移动，以使得光源能对待曝光工件的不同区域分别进行曝光，使得具有复杂多变的结构和形状的待曝光工件也可以进行良好的曝光，能实时调整光源和待曝光工件的相对位置，对于复杂结构和外形的工件也能够满足光刻需求。