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公司信息商标信息专利信息
授权公布号:CN220665507U
埚帮及单晶炉热场
有效
申请
2023-08-15
申请公布
1970-01-01
授权
2024-03-26
预估到期
2033-08-15
申请号 CN202322201592.0
申请日 2023-08-15
授权公布号 CN220665507U
授权公告日 2024-03-26
分类号 C30B15/10;C30B15/14
分类 晶体生长〔3〕;
申请人名称 隆基绿能科技股份有限公司
申请人地址 陕西省西安市长安区航天中路388号

专利法律状态

2024-03-26 授权
状态信息
授权

摘要

本实用新型公开了一种埚帮及单晶炉热场,埚帮包括主体段及与主体段的顶部相连的改性段,沿埚帮的高度方向,改性段的高度小于或等于主体段的高度;埚帮具有坩埚安装腔,改性段包括基体层和与基体层相连的耐蚀层,耐蚀层远离和/或靠近坩埚安装腔,耐蚀层用于抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀。本实用新型实施例中,耐蚀层能够抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀,使得埚帮中的改性段不易被硅蒸气腐蚀,从而延缓了改性段的腐蚀速率,进而提高了埚帮的使用寿命。