本申请公开了一种水汽供应装置及镀膜系统，水汽供应装置包括：输送管路、第一供气组件和第二供气组件；输送管路包括第一输入端、第二输入端和输出端，输出端适于与镀膜设备连通；第一供气组件与第一输入端连通，用于向输送管路中通入水蒸气；第二供气组件与第二输入端连通，用于向输送管路中通入工艺气体。通过第一供气组件向管路中通入水蒸气，第二供气组件向输送管路中通入工艺气体，水蒸气进入输送管路内，会被工艺气体携载着进入镀膜腔内，利用工艺气体可以起到对水蒸气的稀释作用，从而确保镀膜腔内的水蒸气含量相对均匀。同时，在工艺气体的冲刷作用下，可以减少输送管路内水蒸气的凝结，能够提升水蒸气供应的精准控制。