授权公布号:CN220665512U
一种热场部件和单晶硅棒拉制装置
有效
申请
2023-07-04
申请公布
1970-01-01
授权
2024-03-26
预估到期
2033-07-04
| 申请号 | CN202321739753.5 |
| 申请日 | 2023-07-04 |
| 授权公布号 | CN220665512U |
| 授权公告日 | 2024-03-26 |
| 分类号 | C30B29/06;C30B15/14 |
| 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 申请人名称 | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 陕西省西安市长安区航天中路388号 |
专利法律状态
2024-03-26
授权
状态信息
授权
摘要
本申请实施例提供了一种热场部件和单晶硅棒拉制装置。所述热场部件包括:环状本体,所述环状本体内设置有环状腔体;壳体,所述壳体设置在所述环状腔体内靠近所述坩埚的一侧,所述壳体内设置有环状的容纳腔;环状的磁性件,所述磁性件连接于所述壳体内;进水管,所述进水管与所述容纳腔连通,所述进水管用于将冷却介质通入所述容纳腔内;以及出水管,所述出水管与所述容纳腔连通,所述出水管用于将所述容纳腔内的所述冷却介质导出。在本申请实施例所述的热场部件应用于单晶硅棒拉制装置的情况下,可以兼顾所述单晶硅棒的拉制速度和拉晶品质。


