本公开涉及一种气体预热装置和沉积炉，气体预热装置包括第一单元壳，第一单元壳包括第一盖体和第一筒壳，第一筒壳形具有容纳空间，第一盖体上开设有多个第一通孔以与容纳空间连通；以及至少一个第二单元壳，第二单元壳包括第二盖体和第二筒壳，第二盖体固定安装于第二筒壳，第二筒壳和/或第二盖体开设有连通部；其中，至少一个第二单元壳从外向内依次嵌套在第一单元壳中，并且第二单元壳通过所述连通部与容纳空间连通。通过上述技术方案，该气体预热装置能够提升待预热气体的预热效果。