授权公布号:CN220579367U
一种镀膜载板及镀膜系统
有效
申请
2023-08-24
申请公布
1970-01-01
授权
2024-03-12
预估到期
2033-08-24
| 申请号 | CN202322288347.8 |
| 申请日 | 2023-08-24 |
| 授权公布号 | CN220579367U |
| 授权公告日 | 2024-03-12 |
| 分类号 | C23C14/24;C23C14/50 |
| 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 申请人名称 | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 陕西省西安市长安区航天中路388号 |
专利法律状态
2024-03-12
授权
状态信息
授权
摘要
本申请公开了一种镀膜载板及镀膜系统,镀膜载板包括:载板本体,载板本体中设有用于存储水的容纳槽;盖板,盖板封盖于容纳槽的槽口处;导气组件,导气组件设于盖板上,导气组件与容纳槽连通,容纳槽内的水气化产生的水蒸气经由导气组件排出,导气组件用于调节容纳槽排出的水蒸气的流量。通过镀膜载板承载工件进入镀膜设备中进行镀膜操作时,容纳槽内的水可以持续气化产生水蒸气,水蒸气经由导气组件通入镀膜设备的镀膜腔内,从而能够为镀膜腔内持续均匀地提供水蒸气。并且,通过导气组件还可以调节水蒸气的流量,以实现对水蒸气量的精准控制,有助于提升镀膜质量。


