本发明涉及检测仪器技术领域，公开了一种紫外线剂量真空平行光束仪，包括：底座，升降装置，安装于底座上；辐射室组件，安装于底座上，且位于升降装置的上方，用于进行185nm真空紫外线波段的紫外线光源辐射；光强传感器组件，放置于升降装置的顶部，用于在升降装置的升降下进出至辐射室组件内进行紫外线光源光照强度检测；水样测试组件，放置于升降装置的顶部，用于在升降装置的升降下进出辐射室组件内进行紫外线光照水样测试；电气控制箱，安装于底座上，用于对升降装置、辐射室组件、光强传感器组件以及水样测试组件进行电气控制。本发明克服了185nm遇到空气产生臭氧，在空气、水中、介质中穿透率低而导致无法精准检测的问题。