授权公布号:CN103889158B
一种石墨烯精细线路的制备方法
有效
申请
2014-03-17
申请公布
2014-06-25
授权
2017-07-28
预估到期
2034-03-17
| 申请号 | CN201410099390.2 |
| 申请日 | 2014-03-17 |
| 申请公布号 | CN103889158A |
| 申请公布日 | 2014-06-25 |
| 授权公布号 | CN103889158B |
| 授权公告日 | 2017-07-28 |
| 分类号 | H05K3/10 |
| 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 申请人名称 | 深圳市宇顺电子股份有限公司 |
| 申请人地址 | 广东省深圳市南山区高新技术产业园区中区M-6栋三层二区 |
专利法律状态
2017-07-28
授权
状态信息
授权
2014-07-16
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H05K3/10;申请日:20140317
2014-06-25
公布
状态信息
公布
摘要
本发明适用于石墨烯应用技术领域,提供了一种石墨烯精细线路的制备方法,包括以下步骤:对石墨烯薄膜进行清洗处理;光刻胶涂布;曝光处理;显影处理、蚀刻处理、剥膜处理。该方法工艺简单、成本低廉,制备得到的石墨烯精细线路性能好。


