PERC电池的背面膜层的制作方法和PERC电池

授权公布号：CN113584461B

有效

申请

2021-07-09

申请公布

2021-11-02

授权

2024-01-30

预估到期

2041-07-09

申请号	CN202110780056.3
申请日	2021-07-09
申请公布号	CN113584461A
申请公布日	2021-11-02
授权公布号	CN113584461B
授权公告日	2024-01-30
分类号	C23C16/50;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/52;H01L31/18
分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称	广东爱旭科技有限公司
申请人地址	广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号

专利法律状态

2024-01-30 授权

状态信息

授权

2021-11-19 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C23C16/50；申请日:20210709

2021-11-02 公布

状态信息

公布

摘要

本申请适用于太阳能电池技术领域，提供了一种PERC电池的背面膜层的制作方法和PERC电池。PERC电池的背面膜层的制作方法包括：在待沉积背面膜层的电池基片上沉积氧化铝层，氧化铝层的厚度小于5nm；在沉积了氧化铝层的电池基片上沉积氮氧化硅层；在沉积了氮氧化硅层的电池基片上沉积氮化硅层和氧化硅层。如此，使得TMA耗量低，对背膜后的激光开槽工艺要求较低，背面电路与硅基体的接触电阻较低，PERC电池的光电转换效率高。