本实用新型适用于太阳能电池技术领域，提供了一种背面钝化膜层结构、PERC太阳能电池、电池组件和光伏系统，背面钝化膜层结构包括依次层叠设置在硅片背面的氧化铝膜层、氧化硅膜层、氮氧化硅膜层和氮化硅膜层，氮氧化硅膜层的厚度为5nm‑20nm。如此，将背面钝化膜层设置为氧化铝膜层、氧化硅膜层、氮氧化硅膜层和氮化硅膜层的层叠结构，增加了原子态的氢来钝化了硅片表面的悬挂键，提升了化学钝化性能，同时，将氮氧化硅膜层的厚度设置在5nm‑20nm之间，可以在保证PERC太阳能电池的氢钝化效果同时也能保证不会因富氢而导致空焊衰减过高而不合格，降低PERC太阳能电池由于富氢介质导致的空焊衰减比例，提升开路电压，进而提升PERC太阳能电池的转换效率。