避开氧化铝钝化的PERC电池和电池钝化层的制作方法

授权公布号：CN113659032B

有效

申请

2021-07-02

申请公布

2021-11-16

授权

2023-07-14

预估到期

2041-07-02

申请号	CN202110751841.6
申请日	2021-07-02
申请公布号	CN113659032A
申请公布日	2021-11-16
授权公布号	CN113659032B
授权公告日	2023-07-14
分类号	H01L31/18;H01L31/0216;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/50
分类	基本电气元件;
申请人名称	广东爱旭科技有限公司
申请人地址	广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号

专利法律状态

2023-07-14 授权

状态信息

授权

2021-12-03 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L31/18；申请日:20210702

2021-11-16 公布

状态信息

公布

摘要

本申请适用于太阳能电池技术领域，提供了一种避开氧化铝钝化的PERC电池和电池钝化层的制作方法。避开氧化铝钝化的PERC电池，包括依次层叠设置的：电池基片、氧化硅膜、第一氮氧化硅膜、第二氮氧化硅膜、第一氮化硅膜、第二氮化硅膜和第三氮化硅膜。如此，通过依次层叠设置的1层氧化硅膜、2层氮氧化硅膜和3层氮化硅膜，可以避开氧化铝钝化，使得PERC电池的钝化效果和抗潜在电势诱导衰减（Potential Induced Degradation，PID）效果较好，而且可以降低成本。