扩散炉_专利查询-品牌网

授权公布号：CN218812250U

扩散炉

有效

申请

2022-11-04

申请公布

1970-01-01

授权

2023-04-07

预估到期

2032-11-04

申请号	CN202222964183.1
申请日	2022-11-04
授权公布号	CN218812250U
授权公告日	2023-04-07
分类号	C30B31/10;C30B31/16;C30B29/06;H01L31/18
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	广东爱旭科技有限公司
申请人地址	广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号

专利法律状态

2023-07-18 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):C30B 31/10；专利号:ZL2022229641831；变更事项:专利权人；变更前:浙江爱旭太阳能科技有限公司；变更后:广东爱旭科技有限公司；变更事项:地址；变更前:322000 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号；变更后:528000 广东省佛山市三水区乐平镇齐力大道南3号；变更事项:专利权人；变更前:珠海富山爱旭太阳能科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司广东爱旭科技有限公司；变更后:天津爱旭太阳能科技有限公司浙江爱旭太阳能科技有限公司珠海富山爱旭太阳能科技有限公司

2023-04-07 授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型适用于太阳能电池制造技术领域，提供了一种扩散炉，扩散炉的进气管可包括第一进气段、第二进气段和连接在第一进气段和第二进气段之间的弯折段，第一进气段用于连接外部气源，第二进气段连通炉腔，弯折段弯折形成有容置空间。加热装置安装在进气管上，加热装置可包括发热管，发热管插入至容置空间内，弯折段环绕发热管设置，发热管用于加热流经弯折段的气体。如此，弯折段的设置可以增加气体的流动路径，在弯折段所形成的容置空间内插入发热管则可通过发热管来对流经弯折段的气体在流入炉腔前进行预加热，避免低温的气体直接通入至炉腔内导致炉腔内局部气温急剧下降而导致炉内温度不均匀，提高产品的合格率。