本发明公开了一种高效率PERC太阳能电池的制备方法，其包括：依次对所述硅片进行制绒、扩散、刻蚀、形成减反膜和钝化膜、丝网印刷电极浆料，得到太阳能电池坯体；然后对太阳能电池坯体依次进行烘干、烧结、退火、光照处理和冷却，即得到PERC太阳能电池成品。相应的，本发明还公开了一种高效率PERC太阳能电池。本发明通过烧成后一次高温退火、光照辅助二次退火、冷却的工艺，在前期有效激活了太阳能电池中的氢、金属杂质和B‑O复合体，在后期则有效促进了H和B‑O复合体由不稳定态再生恢复为钝化稳定态，有效降低了PERC太阳能电池的CID衰减率，提升了转换效率。通过本发明的制备方法，可将CID平均衰减率降低至1％以下，将太阳能电池的效率绝对值提升0.1～0.3％。