一种背接触式太阳能电池及其制备方法

公司信息商标信息专利信息

授权公布号：CN113130702B

一种背接触式太阳能电池及其制备方法

有效

申请

2021-03-08

申请公布

2021-07-16

授权

2022-06-24

预估到期

2041-03-08

申请号	CN202110251502.1
申请日	2021-03-08
申请公布号	CN113130702A
申请公布日	2021-07-16
授权公布号	CN113130702B
授权公告日	2022-06-24
分类号	H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/0352
分类	基本电气元件;
申请人名称	广东爱旭科技有限公司
申请人地址	浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号

专利法律状态

2022-08-02 专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):H01L 31/18；专利号:ZL2021102515021；登记生效日:20220720；变更事项:专利权人；变更前权利人:浙江爱旭太阳能科技有限公司；变更后权利人:浙江爱旭太阳能科技有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号；变更后权利人:322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号；变更事项:专利权人；变更前权利人:广东爱旭科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司；变更后权利人:广东爱旭科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司珠海富山爱旭太阳能科技有限公司

2022-06-24 授权

状态信息

授权

2021-08-03 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L 31/18；专利申请号:2021102515021；申请日:20210308

2021-07-16 公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种背接触式太阳能电池及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：S1、在硅片的背面形成交替设置的n+掺杂层和n++掺杂层；S2、在n+掺杂层和n++掺杂层上形成掩膜层；S3、去除部分的掩膜层和n+掺杂层，以形成第一开孔；S4、除去掩膜层，并对电池片半成品的背面进行制绒；S5、对电池片进行退火，并在电池片的正面依次形成Al2O3层和SiNx层；S6、在电池片的背面形成SiNx钝化膜；S7、对第一开孔内的SiNx钝化膜进行刻蚀，形成刻蚀至硅片的开槽；S8、形成N型电极和P型电极。本发明的制备方法工艺简单，成本低。