授权公布号:CN214956795U
一种防止硅片粘连的硅片承载器
有效
申请
2021-06-23
申请公布
1970-01-01
授权
2021-11-30
预估到期
2031-06-23
| 申请号 | CN202121406504.5 |
| 申请日 | 2021-06-23 |
| 授权公布号 | CN214956795U |
| 授权公告日 | 2021-11-30 |
| 分类号 | H01L21/673 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 中赣新能源股份有限公司 |
| 申请人地址 | 江西省鹰潭市余江县龙岗工业园区 |
专利法律状态
2021-11-30
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开了一种防止硅片粘连的硅片承载器,包括底板,所述底板的两侧设置有移动板,所述移动板的两侧固定有立杆,所述立杆的表面套接有横杆,所述横杆的外表面均匀设置有分隔片,所述横杆的外端表面开设螺纹孔连接有第一螺纹顶丝,所述第一螺纹顶丝挤压在立杆的外表面,所述底板的表面开设凸形滑槽,所述移动板的下表面设置有凸形滑块,所述凸形滑块滑进凸形滑槽内,所述移动板的中端表面开设螺纹孔连接有第二螺纹顶丝,所述第二螺纹顶丝顶紧底板,通过采用两侧分布设置的分隔组件,其可上下左右调整位置,可根据硅片的大小进行调节使用,使用便捷灵活。


