本实用新型公开了一种硅片插片用硅片缓冲装置，属于硅片插片机领域，包括硅片盒，硅片盒上设有放置槽，放置槽的底部通过压缩弹簧安装有缓冲垫，通过缓冲垫和压缩弹簧，对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲，同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力，在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨，大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时，冲击力对硅片插片的自身影响，通过第一气缸和第二气缸，对硅片插片进行推送集中，减少硅片盒的空间浪费，同时由于盛物板对硅片插片的推送，在送至尽头后，第一气缸先进行回收，通过圆形推板对硅片插片进行支撑，防止在第一气缸回收时，盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动，导致硅片插片侧翻。