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公司信息商标信息专利信息
授权公布号:CN110571149B
一种P型全接触钝化太阳能电池的制备方法
有效
申请
2019-08-09
申请公布
2019-12-13
授权
2022-09-27
预估到期
2039-08-09
申请号 CN201910733946.1
申请日 2019-08-09
申请公布号 CN110571149A
申请公布日 2019-12-13
授权公布号 CN110571149B
授权公告日 2022-09-27
分类号 H01L21/311;H01L21/306;H01L31/18
分类 基本电气元件;
申请人名称 苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址 江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园

专利法律状态

2022-09-27 授权
状态信息
授权
2019-12-13 公布
状态信息
公布

摘要

本发明公开了一种P型全接触钝化太阳能电池的制备方法,其能够消除背面氧化物薄层和多晶硅或非晶硅薄层的正面绕镀现象。所述制备方法依次包括如下步骤:A、对P型硅片进行制绒,且对制绒后硅片的背面进行刻蚀抛光;B、在硅片背面制备氧化物薄层,在氧化物薄层上制备多晶硅或非晶硅薄层;C、对多晶硅或非晶硅薄层进行硼掺杂;D、硅片以背面向上的方式经过刻蚀液,去除硼硅玻璃和硅片正面氧化物薄层及多晶硅或非晶硅薄层绕镀;E、在硅片背面的掺杂多晶硅薄层上制备氮化硅层;F、硅片正面酸洗后再次制绒,并进行磷掺杂;G、酸洗去除磷硅玻璃后,进行硅片正面热氧化;H、硅片正面镀氮化硅层;I、制作电极。