授权公布号:CN110571149B
一种P型全接触钝化太阳能电池的制备方法
有效
申请
2019-08-09
申请公布
2019-12-13
授权
2022-09-27
预估到期
2039-08-09
| 申请号 | CN201910733946.1 |
| 申请日 | 2019-08-09 |
| 申请公布号 | CN110571149A |
| 申请公布日 | 2019-12-13 |
| 授权公布号 | CN110571149B |
| 授权公告日 | 2022-09-27 |
| 分类号 | H01L21/311;H01L21/306;H01L31/18 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 苏州腾晖光伏技术有限公司 |
| 申请人地址 | 江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园 |
专利法律状态
2022-09-27
授权
状态信息
授权
2019-12-13
公布
状态信息
公布
摘要
本发明公开了一种P型全接触钝化太阳能电池的制备方法,其能够消除背面氧化物薄层和多晶硅或非晶硅薄层的正面绕镀现象。所述制备方法依次包括如下步骤:A、对P型硅片进行制绒,且对制绒后硅片的背面进行刻蚀抛光;B、在硅片背面制备氧化物薄层,在氧化物薄层上制备多晶硅或非晶硅薄层;C、对多晶硅或非晶硅薄层进行硼掺杂;D、硅片以背面向上的方式经过刻蚀液,去除硼硅玻璃和硅片正面氧化物薄层及多晶硅或非晶硅薄层绕镀;E、在硅片背面的掺杂多晶硅薄层上制备氮化硅层;F、硅片正面酸洗后再次制绒,并进行磷掺杂;G、酸洗去除磷硅玻璃后,进行硅片正面热氧化;H、硅片正面镀氮化硅层;I、制作电极。


