本申请提供了一种杂化异质结太阳能电池及电池组件和制备方法，包括半导体衬底，具有相对的衬底正面和衬底背面，其中，衬底正面更靠近电池的向光面，衬底背面更靠近电池的背光面；至少两个复合层，位于衬底正面的一侧，每个复合层包括沿逐渐远离衬底正面的方向依次排布的隧穿层和掺杂多晶硅层的叠层结构。本申请提供的杂化异质结太阳能电池及电池组件和制备方法能够在电池表面获得稳定的钝化效果，并且能够降低电池非金属区域的光吸收，同时实现更好的工艺流程控制。