本发明涉及一种太阳能电池及其制作方法、光伏组件及光伏系统。太阳能电池包括基底和钝化接触结构；钝化接触结构包括依次设置于基底的一个表面的第一隧穿氧化层、多晶硅掺杂导电层以及第二隧穿氧化层；其中，多晶硅掺杂导电层和第一隧穿氧化层的至少部分区域形成有多个间隔布置的孔洞，各孔洞贯穿多晶硅掺杂导电层，并延伸至第一隧穿氧化层中；第二隧穿氧化层至少填充各孔洞的位于第一隧穿氧化层中的部分。本发明能够改善钝化接触结构的表面钝化效果，降低表面复合，提升太阳能电池的转换效率。