本实用新型提供的一种高纯度冷却循环水装置，涉及冷却循环水技术领域，包括：防护外壳，所述防护外壳的内部底部设置有集水槽，所述防护外壳的内表壁固定安装有薄膜填充，包括：首先热水通过进水管进入到分水管中，再从雾化喷头喷出，喷出的热水首先会附着在蒸发器表面进行一次冷却，冷却完成的水再流入到薄膜填充内进行二次冷却，最后流入集水槽内，这时启动水泵，抽取集水槽内的冷却水，给需要降温的设备进行降温，然后热水再由进水管进入到装置内进行降温，就形成了一个循环，就解决了现有技术中装置需要依靠自然风对冷却循环水进行冷却，造成冷却循环水冷却效率低下的问题。