本发明公开一种抗静电干膜抗蚀剂用聚酯薄膜及其制备方法，涉及聚酯薄膜技术领域，抗静电聚酯层设置在聚酯薄膜基材的上端面，表层保护层设置在抗静电聚酯层的上端面，表层保护层采用聚烯烃膜，抗静电聚酯层采用有机‑无机复合材料，其中，有机材料采用丙烯酸酯树脂，无机材料采用改性纳米无机粒子，本发明在原有的聚酯薄膜上粘附有抗静电层，有效地降低了薄膜的表面电阻，使薄膜具有稳定、良好地抗静电性能，能有效的防止静电吸附杂质，而造成对聚酯薄膜表面的污染，同时，添加的抗静电层并不会影响聚酯薄膜原有的光学性能和机械性能，进而提高了抗静电干膜抗蚀剂的综合性能，制备简单，产品稳定可靠。