一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置

授权公布号：CN107322368B

有效

申请

2017-06-15

申请公布

2017-11-07

授权

2019-04-16

预估到期

2037-06-15

申请号	CN201710452017.4
申请日	2017-06-15
申请公布号	CN107322368A
申请公布日	2017-11-07
授权公布号	CN107322368B
授权公告日	2019-04-16
分类号	B23Q17/09
分类	机床；不包含在其他类目中的金属加工;
申请人名称	西安万威机械制造股份有限公司
申请人地址	陕西省西安市高新区丈八五路二号现代企业中心东区工业厂房1栋1层10101室

专利法律状态

2020-06-02 专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):B23Q 17/09；专利号:ZL2017104520174；登记生效日:20200513；变更事项:专利权人；变更前权利人:西安交通大学；变更后权利人:西安万威机械制造股份有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号；变更后权利人:710000 陕西省西安市高新区丈八五路二号现代企业中心东区工业厂房1栋1层10101室

2019-04-16 发明专利权授予

状态信息

授权

2017-12-01 实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):B23Q 17/09；专利申请号:2017104520174；申请日:20170615

2017-11-07 发明专利申请公布

状态信息

公布

摘要

一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置，在刀片和刀垫之间设有切削力测量单元，切削力测量单元的形状、尺寸与刀片、刀垫匹配，切削力测量单元为三明治结构，分别为上、下氧化铝绝缘层和中间器件层，中间器件层的内部集成有基于锰铜合金材料的敏感电阻，铜电极和引线电路的一端与基于锰铜合金材料的敏感电阻连通，另一端与切削力测量单元侧面的金属焊盘连通，从而使基于锰铜合金材料的敏感电阻与信号处理电路中的固定电阻连接构成惠斯通测量电桥，切削力测量单元采用MEMS技术进行加工，本发明具有兼容性好、通用性强、测量精度高的优点。