授权公布号:CN113436978B
一种BGA溅镀工艺方法
有效
申请
2021-05-10
申请公布
2021-09-24
授权
2024-03-12
预估到期
2041-05-10
| 申请号 | CN202110505681.7 |
| 申请日 | 2021-05-10 |
| 申请公布号 | CN113436978A |
| 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 授权公布号 | CN113436978B |
| 授权公告日 | 2024-03-12 |
| 分类号 | H01L21/56;H01L21/60 |
| 分类 | 基本电气元件; |
| 申请人名称 | 江苏长电科技股份有限公司 |
| 申请人地址 | 江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号 |
专利法律状态
2024-03-12
授权
状态信息
授权
2021-10-15
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):H01L21/56;申请日:20210510
2021-09-24
公布
状态信息
公布
摘要
本发明涉及一种BGA溅镀工艺方法,所述方法包括以下步骤:步骤一、取一治具,所述治具包括固定平台,所述固定平台四周设置有活动平台,在治具表面贴上胶膜并将单颗产品吸取放置在该治具的固定平台上;步骤二、固定平台四周的活动平台向上翻转升起,让活动平台的最外端与产品侧壁接触;步骤三、在产品外露的其余五个面上溅镀金属层,活动平台保护产品侧壁下端和底部锡球不被溅镀;步骤四、完成溅镀后,四周活动平台下落恢复至原位;步骤五、使用吸嘴将产品取下完成溅镀。本发明四周活动平台能够升起与产品侧面粘接,从而保护BGA或其他带球产品的底部不被溅镀,简化了BGA产品溅镀的工艺流程,提高了整体封装效率。


