本发明公开了一种准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法，属于检测领域，可以解决准光腔介电常数测试随频率变化误差的问题，包括以下步骤：对准光腔中高斯波束相位分布进行分析；根据待测样品上表面，即空气与介质区域分界面处电磁场的边界条件关系，获得样品上表面实际的相位分布以及电场与磁场表达式；考虑准光腔内电场纵向场分量，同时将准光腔内电场横向场分量和纵向场分量列入计算步骤中；带入公式进行计算。