本发明公开了一种S参数的最小二乘插值方法，属于S参数的插值运算领域。由于对S参数的实部+虚部、线性幅度+相位插值方法，不能完整的表现被测件的特性，所以插值结果会有偏差。由于真实的被测件可以分解成电感、电容、电阻模型的组合，他们在极坐标下是连续的，通常呈现圆形趋势。所以在极坐标下对被测件S参数采用圆形插值，将会得到与实际值更接近的插值数据。本发明利用被测件数据在极坐标下连续且呈现圆形的特点，将S参数转化为线性幅值和线性相位，通过求解极坐标下的圆形参数，然后利用插值点频率对应的相位，进而利用圆形参数得到插值点的幅度。本发明通过引入最小二乘方法，从而进一步提高插值的鲁棒性。