本公开提出一种高精度太赫兹超短波长校准件的制备方法及校准件，所述方案采用偏移片和短路块一体化集成设计，避免了分立式校准过程中偏移片和短路块反复组合不利于校准效率的提升；由于较高频段偏移片本身比较薄，分立式偏移片易折损导致使用寿命低，采用一体集成能够有效解决该问题。