本实用新型提出了一种复合材料渗硅反应治具，涉及气相渗硅的技术领域，用以解决渗硅反应治具由于装载量小、与硅蒸汽接触距离大及不适用脱脂工艺等原因造成的渗硅成品率和生产效率低的技术问题。所述渗硅反应治具包括匣体和盖板，所述匣钵的底面设置有坯体槽，热压坯体垂直插设在坯体槽内，所述盖板上设有通气孔。实用新型提出复合材料渗硅反应治具，能够减少脱脂工艺步骤，使脱脂和烧结工艺连续进行，减小坯体与硅蒸汽接触的距离，增加渗硅反应治具中待渗硅坯体的装载量，提高渗硅成品率和生产效率。