一种工艺传感器，用于检测工艺角，包括：自偏置基准电路，包括第一基准电路和第二基准电路，第一基准电路包括第一三极管和第二三极管，第一基准电路适于输出第二三极管的基极‑发射极电压作为第一参考电压；第二基准电路包括第一NMOS晶体管，第二基准电路适于输出所述第一NMOS晶体管的漏极电压作为第二参考电压；第一电压电流转换电路，适于根据第一参考电压输出与第一参考电压成正比例关系的第一电流；第二电压电流转换电路，适于根据第二参考电压输出与第二参考电压成正比例关系的第二电流；电流电压转换电路，适于获得输出电压，输出电压与第二参考电压和第一参考电压的差值相关。所述工艺传感提高对半导体加工工艺的检测精度，且降低结构复杂度。