一种半导体结构及其形成方法，其中结构包括：基底，所述基底上具有光波导层；位于基底上的第一介质层；位于所述第一介质层和光波导层之间的空腔，所述空腔位于所述光波导层侧壁表面，且所述空腔的底部与光波导层的底部齐平；位于所述第一介质层上和光波导层上的第二介质层，所述第二介质层位于所述空腔顶部且将所述空腔封闭。基底，所述基底上具有光波导层；位于基底上的第一介质层；位于所述第一介质层和光波导层之间的空腔，所述空腔位于所述光波导层侧壁表面，且所述空腔的底部与光波导层的底部齐平；位于所述第一介质层上和光波导层上的第二介质层，所述第二介质层位于所述空腔顶部且将所述空腔封闭。所述半导体结构的性能较好。