授权公布号:CN114815490B
掩膜版版图、存储单元结构和存储器
有效
申请
2021-01-27
申请公布
2022-07-29
授权
2024-03-08
预估到期
2041-01-27
| 申请号 | CN202110110973.0 |
| 申请日 | 2021-01-27 |
| 申请公布号 | CN114815490A |
| 申请公布日 | 2022-07-29 |
| 授权公布号 | CN114815490B |
| 授权公告日 | 2024-03-08 |
| 分类号 | G03F1/00;G03F1/70;H01L23/528;H01L27/02;H10B10/00 |
| 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
| 申请人名称 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 申请人地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路18号 |
专利法律状态
2024-03-08
授权
状态信息
授权
2022-08-16
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):G03F1/00;申请日:20210127
2022-07-29
公布
状态信息
公布
摘要
一种掩膜版版图、存储单元结构和存储器,掩膜版版图包括:栅极版图,包括位于单元区中的栅极图形,沿第一方向延伸并沿第二方向排列,第一区域和第二区域中的栅极图形分别沿第一方向延伸至相邻端口连接区中;插塞版图,包括位于端口连接区的第一字线插塞图形和第二字线插塞图形,分别位于第一传输门晶体管和第三传输门晶体管对应的栅极图形上、以及第二传输门晶体管和第四传输门晶体管对应的栅极图形上,同一端口连接区中的第一字线插塞图形和第二字线插塞图形在第二方向上位置错开;互连线版图,包括位于端口连接区且连接第一字线插塞图形的第一子互连线图形和连接第二字线插塞图形的第二子互连线图。本发明增大形成字线的工艺窗口。


