一种晶圆固定治具，所述晶圆固定治具包括：底座，所述底座内凹陷形成晶圆容纳腔；具有开口区域的压板，与所述底座可转动地连接；其中，当所述压板与所述底座打开时，能够向所述晶圆容纳腔内放置晶圆，当所述压板与所述底座闭合时，所述开口区域暴露出所述晶圆的一部分。本实用新型可以在固定晶圆的前提下进行清洁，有效对晶圆进行保护。