本发明涉及提高氟化氢产率的方法、氟化氢尾气的处理方法及处理装置，属于氟化工技术领域。本发明的提高氟化氢产率的方法，向对粗氟化氢进行精馏提纯所得的不凝性气体流中通入不低于不凝性气体流压力的惰性气体流并使不凝性气体流的流向和惰性气体流的流向的夹角为90～150°，一方面可以增加系统压力，使不凝性气体中的气态氟化氢因为压力增加而液化，增加无水氟化氢的产量；一方面可以将不凝性气体中的未冷凝氟化氢气体截留回精馏装置的冷凝器中进行二次冷凝，进一步增加无水氟化氢的冷凝量，从而增加无水氟化氢的产量。