本发明属于氟化工技术领域，具体涉及一种无水氟化氢的制备方法及装置。本发明采用磷肥行业副产氟硅酸作为氟源生产无水氟化氢，氟硅酸和氨水反应经除杂后得到氟硅酸铵溶液，氟硅酸铵溶液与氨水反应并经蒸发浓缩和热分解得到氟化氢铵熔融液体，氟化氢铵熔融液体和氟化钠反应经降温结晶得到氟化氢钠软膏，氟化氢钠软膏经干燥和热分解得到粗氟化氢气体，再经过提纯得到无水氟化氢。通过多级反应流程实现连续化生产，有效提高了无水氟化氢的产率，缩短反应时间。通过除杂处理，降低体系中杂质的积累，避免系统中副反应发生。此外，对体系中的副产物回收利用，降低生产成本，减少废料排出，实现清洁生产。