本发明涉及一种无水氟化氢的除杂方法、电子级氢氟酸的制备方法及装置，属于电子化学品技术领域。本发明的无水氟化氢的除杂方法，包括以下步骤：在待处理的无水氟化氢中混入氟化铁进行络合反应，固液分离；所述待处理的无水氟化氢中含有铵根离子杂质。本发明通过氟化铁与铵根离子进行络合反应，生成六氟合铁酸铵（NH4）3FeF6，通过简单的固液分离即可去除无水氟化氢中的铵根离子杂质，除杂效率高，有利于得到高品质的电子级氢氟酸，还具有生产成本低、易于产业化生产的优点。